강의계획서
| 교과목코드 | JEB01441 | 교과목명 | 반도체공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 전자공학과 | 교수 | 김가람 |
| 교수소속 | 전자공학과 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | garamkim@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-324-1257 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | Introduction, Wafer preparation |
| 2주차 | Oxidation |
| 3주차 | Diffusion |
| 4주차 | Ion Implant |
| 5주차 | Photolithography |
| 6주차 | Metallization |
| 7주차 | CMP, Probing, testing |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | Vacuum |
| 10주차 | Plasma |
| 11주차 | Sputtering |
| 12주차 | CVD |
| 13주차 | Etch |
| 14주차 | Integration |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |