강의계획서
| 교과목코드 | SE240015 | 교과목명 | 반도체산업기술특론 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 정범석 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | bjung@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6694 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | Introduction |
| 2주차 | 반도체 클린룸 이해 |
| 3주차 | (환경안전) 반도체 화학 물질의 이해 |
| 4주차 | (소재) 반도체 Specialty Gas 특성 |
| 5주차 | 반도체 개론 및 환경 이슈 |
| 6주차 | 진공 설비 구조 이해 (Metal) |
| 7주차 | (부품) 진공, ESC, 재료 |
| 8주차 | 중간 고사 |
| 9주차 | EDS Process |
| 10주차 | (품질) 반도체 설비 관리 |
| 11주차 | (품질) 반도체 진단 기술 동향 |
| 12주차 | 대학원생 발표 (소재) |
| 13주차 | 대학원생 발표 (장비) |
| 14주차 | 대학원생 발표 (안전과 품질) |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |