강의계획서
| 교과목코드 | JEF02224 | 교과목명 | 반도체공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 윤태식 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 2학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | tsyoon@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6465 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 소개 (LMS+과제) |
| 2주차 | 반도체 원리 및 물성 (LMS+과제) |
| 3주차 | 반도체 원리 및 물성 (LMS+과제) |
| 4주차 | 반도체 원리 및 물성 (LMS+과제) |
| 5주차 | 반도체 공정을 위한 열역학과 상변화 (LMS+과제) |
| 6주차 | 반도체 기판공정 (LMS+과제) |
| 7주차 | 반도체 기판공정 (LMS+과제) |
| 8주차 | 중간고사 (LMS과제방) |
| 9주차 | 반도체 단위 공정 (산화) (LMS+과제) |
| 10주차 | 반도체 단위 공정 (박막증착) (LMS+과제) |
| 11주차 | 반도체 단위 공정 (리소그래피) (LMS+과제) |
| 12주차 | 반도체 단위 공정 (에칭 공정) (LMS+과제) |
| 13주차 | 반도체 단위 공정 (배선 공정) (LMS+과제) |
| 14주차 | 반도체 집적공정 (LMS+과제) |
| 15주차 | 기말고사 (LMS 과제방) |
| 16주차 |